我设想的大系统架构就是这样，到每机再设计。大家有什么补充的就说一下。”

范学东摇着手，客气。

“我想的也差不多，整系统绝不简单，我们要把里里外外都考虑清楚了，再开始设计，尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最的，还超过了他以前的上司郭东，因此他没有顾虑的发表了自已的意见。

说完这些他就不再说了，把时间让给别人了。其实到了这一步已经非常完善了，大家没什么好补充的了。因此一下冷场了。

又因为各个步骤都要检测，因此我们可以把机械臂运行的轨用玻璃封闭，方便使用电显微镜检测。

“咳咳”卢汝成见其它人都不说，就咳嗽两声，开始发言：“我认为郭长的设想已经非常完善了，我只补充一条，还需要一个单独的光刻胶腐蚀步骤。因为光刻机会行多次光刻，那么就要行多次的上胶去胶，因此，有必要设计一个单独的去胶室。”

“没什么，我们不是一起解决问题嘛！”

“哈哈哈哈！”大家又开心的大笑起来。

“等等，郭长，清洗和烘这两个步骤，光刻机、离注机和cvd机都要用到，而且你还忘了，回火这个步骤，单硅晶在切薄片的时候，因温度过的原因会变形，因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士，比他们更了解整个制程工艺。因此言提醒了郭东。

未完待续…

“好！既然是这样，那我们就把烘炉和回火炉集合成一，只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌说了自已的想法。

“谢谢你的提醒！范先生。”郭东不知如何称呼他的职务，只好叫他先生了。

郭东见大家不再发言，就又站起来说：“既然大家不再补充啦！那我们就散会吧！吃饭时间到了，我们公司堂的饭菜很好的，大家都知的。哦！瞧我，范先生是客人不知。罪过罪过！”

说完他调的对范学东双手作揖。

一个有能力的人，总是会想办法调节气氛。而郭东就是这样的人。

说完这些他就又用笔指着另外一个图案说：“切断之后就要把硅圆，使它符合硅晶圆基片的大小要求，并且保持整材圆整度的一致，在这个加工步骤中，也要加防氧化油，使整材外表有油保护，防止氧化。”

他没等大家回答，组织了思路就开始说了：“我把去油、清洗、烘和切片集成在一条轨上，步骤我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘室也就是回火炉回火，然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空盘，因为硅片很薄，不能用机械的方式传输，否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空盘式，肯定不能用卡钳的方式，否则损伤更大。上胶机必须设计两，两不同的胶不能混和在一起，否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一个烘的步骤，这里也要用机械臂直接输送不用设轨。因此必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机积都不大，可以布置得很凑。

“咚咚”过了一个小时，郭东准时敲响了桌，将大家从思考中惊醒过来。

说完他就坐到。，将位置让了来。

“嗯！卢总说得不错，那我们休会一个小时，大家都思考思考。”郭东作为主人，作了决定。

意草图，他拿笔指着其中一个说：“我们首先要切断，因为是大切断所以不需要太密，我设想就是一台机床就可以了，反正后续还有许多加工理步骤。不过要注意，在切断的时候要加防氧化油，把材的两个横载面涂抹油，目的是防止氧化。”

说完他又皱起了眉，然后像自言自语地说：“不过这样一来，老板说的一条轨远远不够，长长短短可能要十多条，像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”

郭东说完，大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考，在心里描绘整个系统的形，设想怎样才更合理。

他见大家都注意到了自已就开始说：“由于人数较多，就不一个个发言了，时间不允许。我说我的想法，有什么不对的大家补充。”

说到这里，他又用笔指着另一个图标说：“到了这一步，就必须在氩气环境内行下一步了，因此，我们必须把去油、清洗和烘这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶暴在空气中而被氧化。”